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瑞士 盛思锐5400气体质量流量控制器流量计

瑞士 盛思锐5400气体质量流量控制器流量计

2026-04-17
盛思锐
SFM5400
北京空港北光仪表有限公司
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CMOSens®核心芯片技术,量热法原理,半导体制造 / 镀膜/刻蚀设备 / 涂层/蚀刻,医疗设备,OEM
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盛思锐
SFM5400
产品描述

SFC5400 / SFM5400 气体质量流量控制器/流量计 数据手册 ■ 超快稳定时间（低至50 ms） ■ 卓越的精度/重复性（分别为设定点的0.8%/0.1%） ■ 宽控制范围（1000:1） ■ 多种接口可选：RS485、DeviceNet、IO-Link和模拟电压/电流 ■ 多种接头形式可选：底部安装式、Swagelok、VCR、VCO、W-Seal ■ 多气体及气体识别功能 ■ 可溯源至NIST的校准 ■ MTBF 169年

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